
Feinschneiden mit SYNOVA Laser-Microjet System

Elliptischer Schnitt mit Microjet-Synova-Verfahren in eine Kanüle
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Beispiel für einen Schnitt mit hoher Kantenqualität in einen Silizium-Wafer mit Microjet-Synova-Verfahren (Materialstärke 725µm)
(Vorderseite, Rückseite)

Quelle: SYNOVA SA
Bei diesem System wird der Laserstrahl, während er eine Hochdruckkammer durchläuft, in einen Wasserstrahl eingekoppelt. Der Wasserstrahl wirkt als Lichtleiter.
Die Kombination von Laserstrahl und Wasserstrahl ist eine revolutionäre Idee für die Laser-Mikrotechnologie. Sie stellt für diese keine Konkurrenz dar, sondern eine hocheffiziente Ergänzung. Sie behält die Vorteile des klassischen gepulsten YAG-Lasers, seine hohe Geschwindigkeit, Präzision und Flexibilität bei, eliminiert aber gleichzeitig dessen Nachteile:
alle Metalle, insbesondere Hartmetalle mit Ausnahme der hoch reflektierenden, Silizium, Alluminiumoxyde, Ferrite (MnO, ZnO, FeO), Polymere, CBN, WC, Bornitride, Siliziumnitride.
Detaillierte Informationen über das SYNOVA-Laser-Microjet-System finden Sie unter:
www.synova.ch